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多方面融合必将成为MEMS产业发展关键
作者: 作者单位:满天星 所属类别: 2018-01-09 16:00:28 浏览:31
  MEMS传感器本质上是专用器件,根据不同的制造工艺和应用需求,提供各类专用功能,这种模式就使得MEMS传感器产品具有种类繁多、用途广泛等特点。而随着MEMS产品技术的持续提升及应用推广,无论是从技术、制造工艺以及应用领域等方面的跨界融合趋势越发明显也逐步成为MEMS产业未来提速发展的关键。
  应用技术的融合
  随着新兴领域相关应用技术水平的突飞猛进,以及产品市场需求的日益增长,对MEMS传感器产品的功能及性能都提出了更高的要求。而为了顺应市场潮和需求,这些与物理规律、化学特质及生物元素进行结合的MEMS传感器技术和产品,为产业的持续融合发展奠定了基础,并成为未来MEMS传感器市场实现爆发式增长的关键。
  器件工艺的融合
  CMOS集成电路作为信号处理模块,有成熟的制造工艺。MEMS作为获取信号的微传感器和执行命令的微执行器,将二者集成到单芯片上,实现传感器、执行器、信号采集处理、控制电路一体化混合集成在一块三维硅片上,可极大地提高MEMS传感器的智能化和集成化。MEMS与IC芯片整合、封装在一起是集成电路技术发展的新趋势,也是传统芯片厂商的新机遇。
  制造流程的融合
  CMOS工艺已经在集成电路制造中广泛采用,如果能用它来实现MEMS的量产,既不用更换设备,材料也是标准的,MEMS的制造就可以获得低成本和高产出率的优势。同时,使用标准技术生产出来的MEMS器件将很容易集成到其它系统中,具有更好的兼容性。

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